Thermochemical prediction of runaway energetic reactions involving organometallic (Al, In) and silane precursors in deposition tools
Thermochemical prediction of runaway energetic reactions involving organometallic (Al, In) and silane precursors in deposition tools
复制标题
沉积工具中涉及有机金属（Al、In）和硅烷前体的失控高能反应的热化学预测
DOI：
10.1116/6.0001503
复制
发表时间：
2022
影响因子：
1.4
通讯作者：
Chang, Jane P.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Liu, Yicheng;Lim, Norleakvisoth;Smith, Taylor;Sang, Xia;Chang, Jane P.
