High Speed Lateral Crystallization of Amorphous Silicon Films Using Micro-Thermal-Plasma-Jet and Its Application to Thin Film Transistor
High Speed Lateral Crystallization of Amorphous Silicon Films Using Micro-Thermal-Plasma-Jet and Its Application to Thin Film Transistor
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微热等离子体射流非晶硅薄膜高速横向结晶及其在薄膜晶体管中的应用
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Miyazaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Hayashi;S.Higashi;H.Murakami;S.Miyazaki
