光学的変調散乱素子を用いた LSI チップ上の高周波電界分布計測
光学的変調散乱素子を用いた LSI チップ上の高周波電界分布計測
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利用光调制散射元件测量LSI芯片的高频电场分布
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
黒澤孝裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋 徹，佐藤可奈，菅原英子，黒澤孝裕，駒木根隆士;黒澤孝裕，駒木根隆士;神田哲典，室賀 翔，遠藤 恭，黒澤孝裕;Takahiro KUROSAWA;黒澤 孝裕;伊與田浩志;黒澤孝裕
