Microsystems and Nanotechnology
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DOI：
10.1007/978-3-642-18293-8
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Zhaoying Zhou;Z. Wang;Liwei Lin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhaoying Zhou;Z. Wang;Liwei Lin
世界在纳米技术时代大步前进。CMOS微电子的最小特征尺寸已经在纳米范围内。以更小的特征尺寸来实现更高的速度、更低的功耗和更大的集成密度仍然是新世纪信息电子发展的“规律”。
The world strides in the nanotechnology era. The minimum feature size of CMOS microelectronics is already been in the range of nanometers. The even smaller feature size to achieve higher speed, lower power dissipation and larger density of integration is still the ‘law’of information electronics development in the new