Dielectric properties of the interface between Si and SiO2

Dielectric properties of the interface between Si and SiO2
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Si和SiO2界面的介电性能

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Jpn. J. Appl. Phys. 46
影响因子:
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通讯作者:
A. Natori
A. Natori
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S. Wakui;J. Nakamura;A. Natori

文献摘要

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