Development of a nonevaporable getter pump using oxygen-free titanium deposition with partially nitrided surface
Development of a nonevaporable getter pump using oxygen-free titanium deposition with partially nitrided surface
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采用表面部分氮化的无氧钛沉积技术开发非蒸发吸气泵
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shinya Ohno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Keisuke Yoshida;Takashi Kikuchi;Kazuhiko Mase;Shinya Ohno
