K.Teii: "Investigation of Precursor Species for Fluorocarbon Film Growth by Mass Spectrometry"J.Appl.Phys.. (in print). (2000)
K.Teii: "Investigation of Precursor Species for Fluorocarbon Film Growth by Mass Spectrometry"J.Appl.Phys.. (in print). (2000)
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K.Teii：“通过质谱法研究氟碳薄膜生长的前体种类”J.Appl.Phys..（印刷中）。
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