Ion beam analysis of nanoporous surfaces produced by He-implantation and oxidised by plasma-immersion ion-implantation
Ion beam analysis of nanoporous surfaces produced by He-implantation and oxidised by plasma-immersion ion-implantation
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对 He 注入产生并通过等离子体浸没离子注入氧化的纳米多孔表面进行离子束分析
DOI：
10.1016/s0168-583x(99)00679-5
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发表时间：
2000
影响因子：
1.3
通讯作者：
N. Dytlewski
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Markwitz;P. B. Johnson;P. Gilberd;G. Collins;D. Cohen;N. Dytlewski
