Si(111)基板上へのGe添加β-FeSi2エピタキシャル膜の作製

Si(111)基板上へのGe添加β-FeSi2エピタキシャル膜の作製
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Si(111)衬底上Ge掺杂β-FeSi2外延薄膜的制备

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
寺井慶和
寺井慶和
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
野田慶一;寺井慶和

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