Akira Izumi, Miki Tsubasa, Hideki Matsumura: "Application of decomposed species generated by a heated catalyzer to ULSI fabrication rosecces"Thin Solid Films. 430. 265-269 (2003)
Akira Izumi, Miki Tsubasa, Hideki Matsumura: "Application of decomposed species generated by a heated catalyzer to ULSI fabrication rosecces"Thin Solid Films. 430. 265-269 (2003)
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Akira Izumi、Miki Tsubasa、Hideki Matsumura：“将加热催化剂产生的分解物质应用于 ULSI 制造玫瑰”固体薄膜。
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