Fabrication of Amorphous Carbon Films Using Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma with Ultrahigh Electron Density
Fabrication of Amorphous Carbon Films Using Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma with Ultrahigh Electron Density
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利用超高电子密度非平衡大气压等离子体制备非晶碳膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Matsudaira;H. Inui;T. Kino;H. Kano;M. Sekine;M. Hori
