Self-limiting nature in atomic-layer epitaxy of rutile thin films from TiCl4 and H2O on sapphire (0 0 1) substrates
Self-limiting nature in atomic-layer epitaxy of rutile thin films from TiCl4 and H2O on sapphire (0 0 1) substrates
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蓝宝石 (0 0 1) 衬底上 TiCl4 和 H2O 原子层外延金红石薄膜的自限性
DOI：
10.1016/j.jcrysgro.2010.12.003
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Shinagawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Kumagai;Y. Masuda;T. Shinagawa
