High performance of compact radical monitoring probe in H_2/N_2 mixture plasma
High performance of compact radical monitoring probe in H_2/N_2 mixture plasma
复制标题
H_2/N_2混合等离子体中高性能紧凑型自由基监测探头
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C.S.Moon;K.Takeda;S.Takashima;M.Sekine;Y.Setsuhara;M.Shiratani;M.Hori
