Crドープがｃ軸配向AlN薄膜の結晶配向性と電気機械結合係数に及ぼす影響
Crドープがｃ軸配向AlN薄膜の結晶配向性と電気機械結合係数に及ぼす影響
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Cr掺杂对c轴取向AlN薄膜晶体取向及机电耦合系数的影响
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
垣尾 省司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高野 佑成;早川 竜盛;鈴木 雅視;垣尾 省司
