Nobuyasu Mizutani, Naoki Wakiya, Makoto Yoshida, Kenichi Hijikata, Kazuo Shinozaki: "Preparation of Epitaxial YSZ Thin Film on Si(001) Using Metal and Oxide Targets by RF-Magnetron Sputtering"Ferroelectrics. 260. 249-254 (2001)
Nobuyasu Mizutani, Naoki Wakiya, Makoto Yoshida, Kenichi Hijikata, Kazuo Shinozaki: "Preparation of Epitaxial YSZ Thin Film on Si(001) Using Metal and Oxide Targets by RF-Magnetron Sputtering"Ferroelectrics. 260. 249-254 (2001)
复制标题
Nobuyasu Mizutani、Naoki Wakiya、Makoto Yoshida、Kenichi Hijikata、Kazuo Shinozaki：“通过射频磁控溅射使用金属和氧化物靶材在 Si(001) 上制备外延 YSZ 薄膜”铁电体。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
