シリコン窒化膜のプラズマ曝露による機械特性変化評価手法の提案
シリコン窒化膜のプラズマ曝露による機械特性変化評価手法の提案
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提出一种评估等离子体暴露导致氮化硅薄膜机械性能变化的方法
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江利口浩二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
郷矢崇浩;久山智弘;占部継一郎;江利口浩二
