Suppression of Super High-Energy Species by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputter Plasma
Suppression of Super High-Energy Species by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputter Plasma
复制标题
VHF-DC 叠加磁控溅射等离子体抑制超高能物质
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Sugai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Sakashita;Y. Takagi;T. Kato;H. Toyoda;S. Iwata;S. Tsunashima;H. Sugai
