OPEN-AIR PHOTORESIST ASHING BY A COLD-PLASMA TORCH - CATALYTIC EFFECT OF CATHODE MATERIAL
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DOI：
10.1063/1.113942
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发表时间：
1995-04-24
影响因子：
4
通讯作者：
SHIRAISHI, T
中科院分区：
文献类型：
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作者：
INOMATA, K;KOINUMA, H;SHIRAISHI, T
