Takanori Ichiki: "“Preparation of cubic boron nitride films by low pressure inductively coupled plasma enhanced chemical vapor deposition"" Appl.Phys.Lett.4. 851-853 (1994)

Takanori Ichiki: "“Preparation of cubic boron nitride films by low pressure inductively coupled plasma enhanced chemical vapor deposition"" Appl.Phys.Lett.4. 851-853 (1994)
复制标题

Takanori Ichiki:“通过低压感应耦合等离子体增强化学气相沉积制备立方氮化硼薄膜”,Appl.Phys.Lett.4 (1994)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献