織田晃嘉, 大田正人, 柴田順二: "CMPメカニズムの基礎研究"日本機械学会第4回生産加工・工作機械部門,講演会論文集. No.02-25. 213-214 (2002)
織田晃嘉, 大田正人, 柴田順二: "CMPメカニズムの基礎研究"日本機械学会第4回生産加工・工作機械部門,講演会論文集. No.02-25. 213-214 (2002)
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Akiyoshi Oda、Masato Ota、Junji Shibata：“CMP 机理的基础研究”，日本机械工程学会第四届生产加工和机床分部，会议记录第 213-214 号（2002 年）。
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