T.Furuhata, T.Hirano, K.J.Gabriel, H.Fujita: ""Electrostaric Comb-drive Microactuators with Sub-micron Gaps"" Transaction on IEEJ(A). vol.112. 999-1006 (1992)
T.Furuhata, T.Hirano, K.J.Gabriel, H.Fujita: ""Electrostaric Comb-drive Microactuators with Sub-micron Gaps"" Transaction on IEEJ(A). vol.112. 999-1006 (1992)
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T.Furuhata、T.Hirano、K.J.Gabriel、H.Fujita：“具有亚微米间隙的电动梳状驱动微执行器”，IEEJ(A) 上的交易。
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