Digital Micromirror Device Enabled Angle of Incidence Control for Microsphere Photolithography
Digital Micromirror Device Enabled Angle of Incidence Control for Microsphere Photolithography
复制标题
数字微镜器件可实现微球光刻的入射角控制
DOI：
10.1109/rapid54473.2023.10264779
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kinzel, Edward
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhu, Chen;Saenz, Sergio Salinas;Kinzel, Edward
