佐々木 克孝他: "シリコンとAl_<12>W金属間化合物膜とのコンタクト構造の検討." 電子情報通信学会技術研究報告. CPM90ー51. 41-44 (1990)
佐々木 克孝他: "シリコンとAl_<12>W金属間化合物膜とのコンタクト構造の検討." 電子情報通信学会技術研究報告. CPM90ー51. 41-44 (1990)
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Katsutaka Sasaki等人:“硅与Al_12W金属间化合物薄膜之间的接触结构的研究。”CPM90-51(1990)。
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