エッチバック法を用いたGe-on-Insulator作製に向けたウェットエッチング法の検討
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回蚀法制备绝缘体上Ge的湿法刻蚀方法研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中島 寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水 昇;山本 圭介;王 冬;中島 寛
