プラズマCVDアモルファスカーボン膜の分子ふるい特性
プラズマCVDアモルファスカーボン膜の分子ふるい特性
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等离子体CVD非晶碳薄膜的分子筛分特性
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
長澤 寛規,金指 正言,吉岡 朋久,都留 稔了
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Hiroki Nagasawa;Masakoto Kanezashi;Tomohisa Yoshioka;Tishinori Tsuru;長澤 寛規,金指 正言,吉岡 朋久,都留 稔了