斜め蒸着法による薄膜の微細構造の制御と応用
斜め蒸着法による薄膜の微細構造の制御と応用
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倾斜蒸发法薄膜精细结构控制及应用
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木基史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ozawa;T. Nagase;S. Tsuzuki;D. Takeshima;T. Furuya;S. Nishizawa;K. Kurihara;F. Kuwashima;R. de los Santos;A. Somintac;E. Estacio;K. Yamamoto;M. Bakunov;and M. Tani;鈴木基史
