HIGH-RESOLUTION ELECTRON-BEAM INDUCED DEPOSITION
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DOI：
10.1116/1.584045
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发表时间：
1988-01-01
影响因子：
1.4
通讯作者：
BAUM, TH
中科院分区：
文献类型：
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作者：
KOOPS, HWP;WEIEL, R;BAUM, TH
