AlC初期過程におけるSi <0.5>Ge <0.5>薄膜の微細構造解析
AlC初期過程におけるSi <0.5>Ge <0.5>薄膜の微細構造解析
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AlC初始过程中Si<0.5>Ge<0.5>薄膜的微观结构分析
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮尾正信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
犬塚純平;光原昌寿;板倉賢;西田稔;黒澤昌志;佐道泰造;宮尾正信
