低温超音波計測による酸化熱処理FZシリコン結晶の原子空孔観測
低温超音波計測による酸化熱処理FZシリコン結晶の原子空孔観測
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低温超声测量氧化热处理 FZ 硅晶体的原子空位观察
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村慎太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡邊肇;後藤輝孝;金田寛;根本祐一;昆金正敏;柳澤達也;中村慎太郎
