H.Kumazaki: "Deposition thickness sensor for ion sputtering apparatus" T.IEE.Japan. 117-E・2. 105-108 (1997)
H.Kumazaki: "Deposition thickness sensor for ion sputtering apparatus" T.IEE.Japan. 117-E・2. 105-108 (1997)
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H.Kumazaki：“离子溅射装置的沉积厚度传感器”T.IEE.Japan 117-E·2(1997)。
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