Y.Ohki et al.: "Effects of ion implantation and thermal annealing on the photoluminescence in amorphous silicon nitride"J. Appl. Phys.. 85. 6746-6750 (1999)
Y.Ohki et al.: "Effects of ion implantation and thermal annealing on the photoluminescence in amorphous silicon nitride"J. Appl. Phys.. 85. 6746-6750 (1999)
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Y.Ohki 等：“离子注入和热退火对非晶氮化硅光致发光的影响”J。
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