サファイア・GaN基板の加工・研磨技術とその応用
サファイア・GaN基板の加工・研磨技術とその応用
复制标题
蓝宝石/GaN衬底加工/抛光技术及其应用
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小山浩司，畝田道雄，小堀康之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Liang Chen;Tao Lin Sun;Kunpeng Cui;Daniel R. King;Takayuki Nonoyama;Tasuku Nakajima;Takayuki Kurokawa;Jian Ping Gong;H. Nakajima;小山浩司，畝田道雄，小堀康之
