Yonemura, S.: "Electron Energy Distributions in Inductively Coupled Plasma of Argon"Jpn.J.Appl.Phys.. 40・12. 7052-7060 (2001)
Yonemura, S.: "Electron Energy Distributions in Inductively Coupled Plasma of Argon"Jpn.J.Appl.Phys.. 40・12. 7052-7060 (2001)
复制标题
米村 S.：“氩的感应耦合等离子体中的电子能量分布”Jpn.J.Appl.Phys.. 40・12 (2001)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
