バラン給電法によるVHFプラズマの特性
バラン給電法によるVHFプラズマの特性
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使用巴伦馈电方法的 VHF 等离子体的特性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高塚汎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
水野健太;松岡正典;牟田浩司;西田哲;栗林志頭眞;竹内良昭;山内康弘;高塚汎
