スパッタ粒子の運動エネルギーを利用した相分離スパッタ技術の開発
スパッタ粒子の運動エネルギーを利用した相分離スパッタ技術の開発
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利用溅射粒子动能的相分离溅射技术的开发
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤 千恵子,野口大輔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中愛夢,寺村 享祐;矢野 智泰;栗原 路子;近藤 千恵子,野口大輔
