プラズマによりエッチング処理したPr1-xCaxMnO3薄膜の電気的特性及び表面化学組成の解析
プラズマによりエッチング処理したPr1-xCaxMnO3薄膜の電気的特性及び表面化学組成の解析
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等离子体刻蚀Pr1-xCaxMnO3薄膜电性能及表面化学成分分析
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中村敏浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石田拓也;高橋和生;中村敏浩
