ヘリウム添加アセチレンプラズマにおけるヘリウム/アセチレン比による堆積膜の化学結合状態の変化
ヘリウム添加アセチレンプラズマにおけるヘリウム/アセチレン比による堆積膜の化学結合状態の変化
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沉积薄膜化学键合状态的变化取决于氦掺杂乙炔等离子体中的氦/乙炔比率
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松本 貴士
中科院分区：
文献类型：
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作者：
桒田 篤哉;中居 辰夫;大石 侑叶;佐々本 凌;篠原 正典;田中 諭志;松本 貴士
