Electrical properties of selectively grown GaN channel for FinFETs
Electrical properties of selectively grown GaN channel for FinFETs
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FinFET 选择性生长 GaN 沟道的电特性
DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and Kazuo Tsutsui
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Takuya Hamada;Hayato Mukai;Tokio Takahashi;Toshihide Ide;Mitsuaki Shimizu;Hiroki Kuroiwa;Takuya Hoshii;Kuniyuki Kakushima;Hitoshi Wakabayashi;Hiroshi Iwai;and Kazuo Tsutsui