Origin of flat-band voltage sharp roll-off in metal gate/high-k/ultrathin SiO2/Si pMOS stacks

Origin of flat-band voltage sharp roll-off in metal gate/high-k/ultrathin SiO2/Si pMOS stacks
复制标题

金属栅极/高 k/超薄 SiO2/Si pMOS 堆栈中平带电压急剧滚降的根源

DOI:
--
复制
发表时间:
2010
期刊:
Appl. Phys. Lett.
影响因子:
--
通讯作者:
Paul K. Chu
Paul K. Chu
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
M. Wang;X. W. Zhang;W. W. Wang;Paul K. Chu

文献摘要

相似文献