Relation of YSZ stimulation layer crystalline quality with the low-temperature crystallization of the Si film

Relation of YSZ stimulation layer crystalline quality with the low-temperature crystallization of the Si film
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YSZ刺激层结晶质量与Si薄膜低温结晶的关系

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
堀田將
堀田將
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
スクリーン・ハナ;堀田將

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