小型ナノインプリント装置用ヒータの製作とその温度制御
小型ナノインプリント装置用ヒータの製作とその温度制御
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小型纳米压印器件加热器的制作及其温度控制
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
庄司大
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yamamoto;S. Watanabe;K. Komada;D. Sakaguchi;H. Ueki and M. Ishida;K. Komada;K. Komada;K. Komada;庄司大;庄司大
