Study on Reactive Nano Carbon Fine Particle for SiC-CMP
Study on Reactive Nano Carbon Fine Particle for SiC-CMP
复制标题
SiC-CMP用活性纳米碳细粒的研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木恵友
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naofumi TSUJI;Kota TAKASHIMA;Akira SAKURADA;Keisuke HARA;Kazuto MIYAWAKI and Hiromi ISOBE;鈴木恵友
