Si基板上エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3薄膜の結晶構造と圧電特性の評価
Si基板上エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3薄膜の結晶構造と圧電特性の評価
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Si衬底上外延Pb(Zr,Ti)O3薄膜的晶体结构和压电性能评价
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神野 伊策
中科院分区：
文献类型：
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作者：
譚 ゴオン;Kim Eun-Ji;Kweon Sang-Hyo;小金澤 智之;神野 伊策
