石丸和博: "RF放電プラズマを用いた炭素材料のCVDプロセスに及ぼすパルス変調の影響"第40回日本伝熱シンポジウム講演論文集. (未定). (2003)

石丸和博: "RF放電プラズマを用いた炭素材料のCVDプロセスに及ぼすパルス変調の影響"第40回日本伝熱シンポジウム講演論文集. (未定). (2003)
复制标题

Kazuhiro Ishimaru:“脉冲调制对使用射频放电等离子体的碳材料 CVD 过程的影响”第 40 届日本传热研讨会论文集(待定)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献