レーザアニーリングによるシリコンナノ結晶薄膜の電気特性への影響
レーザアニーリングによるシリコンナノ結晶薄膜の電気特性への影響
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激光退火对硅纳米晶薄膜电性能的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中峯嘉文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西山寛樹;冨田育義;Yoshifumi Nakamine;中峯嘉文;中峯嘉文
