Characterization of vertical vibration of electrostatically actuated resonators using Atomic Force Microscope in Non-Contact mode
Characterization of vertical vibration of electrostatically actuated resonators using Atomic Force Microscope in Non-Contact mode
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使用原子力显微镜在非接触模式下表征静电驱动谐振器的垂直振动
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Fujita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
V.Agache;B.Legrand;K.nakamura;H.kawakatsu;L.Buchaillot;H.Toshiyoshi;D.Collard;H.Fujita
