Particle-In-Cellモンテカルロ衝突モデルによる容量結合型Arプラズマにおける下部バイアス電圧印加シミュレーション
Particle-In-Cellモンテカルロ衝突モデルによる容量結合型Arプラズマにおける下部バイアス電圧印加シミュレーション
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使用细胞内粒子蒙特卡罗碰撞模型模拟电容耦合 Ar 等离子体中的较低偏压应用
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白谷正治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
阿部滉平;山本晃大;長尾伊織;大高真寛;山下大輔;鎌滝晋礼;奥村賢直;板垣奈穂;古閑一憲;白谷正治
