横山和宏: "真空チャック面の弾性変形・熱変形による平面度変化" 精密工学会誌.
横山和宏: "真空チャック面の弾性変形・熱変形による平面度変化" 精密工学会誌.
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横山一宏:“真空吸盘表面的弹性变形和热变形引起的平面度变化”,日本精密工程学会杂志。
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