AlGaN Microdisks on Top of Supporting GaN Columns Fabricated using Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching
AlGaN Microdisks on Top of Supporting GaN Columns Fabricated using Hydrogen Environment Anisotropic Thermal Etching
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使用氢环境各向异性热蚀刻制造的位于支撑 GaN 柱顶部的 AlGaN 微盘
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Kazuhiko Hara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sho Suzuki;Tetsuya Kouno;Hoshi Takeshima;Akihiko Kikuchi;Katsumi Kishino;Masaru Sakai;and Kazuhiko Hara
