超高真空対応超音波モータの圧電素子分割による長寿命化・駆動性能の向上
超高真空対応超音波モータの圧電素子分割による長寿命化・駆動性能の向上
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通过在超高真空兼容超声波电机中划分压电元件，延长了使用寿命并提高了驱动性能
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新野俊樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
船見慎太郎;新野俊樹
